ຫຼັກການທໍາຄວາມສະອາດຂອງທໍາຄວາມສະອາດ ultrasonic ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຍ້ອນການນໍາຂອງ vibration ultrasonic ໃນຂອງແຫຼວທໍາຄວາມສະອາດ, ເຊິ່ງກໍ່ໃຫ້ເກີດ "cavitation" ໃນນ້ໍາທໍາຄວາມສະອາດ. ແຮງກົນຈັກທີ່ມີປະສິດທິພາບທີ່ຜະລິດໂດຍ "cavitation" ປອກເປືອກອອກຈາກຄວາມເປື້ອນຂອງກົນຈັກແລະສິ່ງປົນເປື້ອນຕ່າງໆທີ່ຕິດກັບເຄື່ອງເຮັດວຽກ. ການເຮັດຄວາມສະອາດ ultrasonic ບໍ່ພຽງແຕ່ມີຜົນກະທົບ cavitation, ແຕ່ຍັງປະກອບດ້ວຍຜົນກະທົບທາງດ້ານຮ່າງກາຍແລະສານເຄມີທີ່ສັບສົນຫຼາຍ.
ອັນທີ່ເອີ້ນວ່າ "cavitation" ຫມາຍເຖິງສະພາບທີ່ຫນາແຫນ້ນແລະຫນາແຫນ້ນໃນເວລາທີ່ຄວາມກົດດັນສຽງສະລັບຂອງຄື້ນຟອງ ultrasonic ຂະຫຍາຍພັນໃນຂອງແຫຼວ. ຢູ່ໃນສະພາບທີ່ຫນາແຫນ້ນ, ແຫຼວແມ່ນຂຶ້ນກັບຄວາມກົດດັນທາງບວກ (ປະມານຄວາມກົດດັນຂອງບັນຍາກາດເລັກນ້ອຍ), ໃນຂະນະທີ່ຢູ່ໃນສະພາບທີ່ຫນາແຫນ້ນ, ແຫຼວແມ່ນຢູ່ພາຍໃຕ້ຄວາມກົດດັນຫຼືຄວາມກົດດັນທາງລົບ. ໂດຍທົ່ວໄປ, ທາດແຫຼວມີປະລິມານອາຍແກັສທີ່ແນ່ນອນ. ໃນສະຖານະການ sparse, ຟອງຂະຫຍາຍຕົວແລະດູດຊຶມຫຼາຍກ່ວາອາຍແກັສ decomposed ໃນຂອງແຫຼວ; ເມື່ອ recompressed, ຟອງຍັງສືບຕໍ່ຫົດຕົວ. ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການນີ້, ການເຄື່ອນໄຫວຂອງອະນຸພາກຂອງແຫຼວແມ່ນອັດຕາສ່ວນ inversely ກັບ radius ຟອງຄ່ອຍໆຫຼຸດລົງ. ດັ່ງນັ້ນ, ເມື່ອລັດສະໝີເຂົ້າໃກ້ສູນ, ຄວາມໄວຂອງການເຄື່ອນໄຫວຂອງມວນຊົນຄວນເຂົ້າໃກ້ທາງທິດສະດີ. ຖ້າການເຄື່ອນໄຫວຢ່າງໄວວານີ້ຢຸດຢ່າງກະທັນຫັນເມື່ອຟອງຖືກປິດ, ພະລັງງານ kinetic ທີ່ເຂັ້ມຂຸ້ນຢູ່ໃນປະລິມານນ້ອຍໆຈະຖືກປ່ອຍອອກມາ, ບາງສ່ວນກາຍເປັນພະລັງງານຄວາມຮ້ອນ, ບາງສ່ວນກາຍເປັນພະລັງງານບີບອັດ. ໃນເວລານີ້, ຄື້ນຊ໊ອກ spherical ແຜ່ຂະຫຍາຍອອກໄປຂ້າງນອກຈາກສູນກາງຂອງຟອງປິດ. ໃນຈຸດນີ້, ຄວາມກົດດັນແມ່ນຫຼາຍພັນຊັ້ນບັນຍາກາດ. ຖ້າຄວາມຖີ່ ultrasonic ແມ່ນ 20KHz, cavitation ນີ້ຈະເກີດຂຶ້ນ 20,000 ເທື່ອຕໍ່ວິນາທີ. ດັ່ງນັ້ນ, ມັນບໍ່ຍາກທີ່ຈະເຂົ້າໃຈວ່າຄື້ນ ultrasonic ມີຄວາມສາມາດທໍາຄວາມສະອາດທີ່ເຂັ້ມແຂງ.


