Kanuni ya kusafisha ya kusafisha ultrasonic ni hasa kutokana na kuanzishwa kwa vibration ya ultrasonic katika kioevu cha kusafisha, ambayo husababisha "cavitation" katika kioevu cha kusafisha. Nguvu yenye nguvu ya mitambo inayotokana na "cavitation" huondoa uchafu wa mitambo na uchafuzi mbalimbali unaohusishwa na workpiece. Kusafisha kwa ultrasonic sio tu ina athari ya cavitation, lakini pia inaongozana na athari ngumu zaidi ya kimwili na kemikali.

Kinachojulikana kama "cavitation" inahusu hali ya nadra na mnene wakati shinikizo la sauti la kubadilishana la mawimbi ya ultrasonic huenea katika kioevu. Katika hali mnene, kioevu kinakabiliwa na shinikizo chanya (kuhusu shinikizo chache la anga), wakati katika hali ya nadra, kioevu ni chini ya mvutano au shinikizo hasi. Kwa ujumla, kioevu kina kiasi fulani cha gesi. Katika hali ya nadra, Bubble inakua na kunyonya zaidi Gesi iliyoharibika katika kioevu; wakati recompressed, Bubbles kuendelea kupungua. Wakati wa mchakato huu, harakati ya chembe za kioevu ni sawia na radius ya Bubble inayopungua polepole. Kwa hiyo, wakati radius inakaribia sifuri, kasi ya harakati ya wingi inapaswa kinadharia kufikia infinity. Ikiwa mwendo huu wa haraka utaacha ghafla wakati Bubble imefungwa, nishati ya kinetic iliyojilimbikizia katika kiasi kidogo itatolewa, kwa sehemu inakuwa nishati ya joto, kwa sehemu inakuwa nishati ya compression. Kwa wakati huu, wimbi la mshtuko wa spherical hueneza nje kutoka katikati ya Bubble iliyofungwa. Katika hatua hii, shinikizo ni maelfu ya anga. Ikiwa mzunguko wa ultrasonic ni 20KHz, cavitation hii itatokea mara 20,000 kwa sekunde. Kwa hiyo, si vigumu kuelewa kwamba mawimbi ya ultrasonic yana uwezo wa kusafisha nguvu.