अल्ट्रासोनिक सफाई को सफाई सिद्धान्त मुख्यतया सफाई तरल मा अल्ट्रासोनिक कम्पन को परिचय को कारण हो, जो सफाई तरल मा "cavitation" को कारण हो। "cavitation" द्वारा उत्पन्न शक्तिशाली मेकानिकल बलले वर्कपीसमा संलग्न मेकानिकल अशुद्धता र विभिन्न प्रदूषकहरू हटाउँछ। अल्ट्रासोनिक सफाईमा cavitation प्रभाव मात्र छैन, तर थप जटिल भौतिक र रासायनिक प्रभावहरू पनि छन्।

तथाकथित "cavitation" ले स्पर्स र घना अवस्थालाई बुझाउँछ जब अल्ट्रासोनिक तरंगहरूको वैकल्पिक ध्वनि दबाब तरलमा फैलिन्छ। घना अवस्थामा, तरल पदार्थ सकारात्मक दबाव (केही वायुमण्डलीय दबाव) को अधीनमा छ, जबकि विरल अवस्थामा, तरल तनाव वा नकारात्मक दबाब अन्तर्गत छ। सामान्यतया, तरल पदार्थमा निश्चित मात्रामा ग्यास हुन्छ। विरल अवस्थामा, बबल बढ्छ र अधिक अवशोषित गर्दछ तरलमा विघटित ग्यास; पुन: संकुचित गर्दा, बुलबुले संकुचित हुन जारी छ। यस प्रक्रियाको बखत, तरल कणहरूको आन्दोलन क्रमशः घट्दै गएको बबल त्रिज्याको विपरीत समानुपातिक हुन्छ। त्यसकारण, जब त्रिज्या शून्यमा पुग्छ, जन आन्दोलनको गति सैद्धान्तिक रूपमा अनन्ततामा पुग्नुपर्दछ। यदि यो द्रुत गति बबल बन्द हुँदा अचानक बन्द हुन्छ, सानो मात्रामा केन्द्रित गतिज ऊर्जा रिलीज हुनेछ, आंशिक रूपमा ताप ऊर्जा हुन्छ, आंशिक रूपमा कम्प्रेसन ऊर्जा हुन्छ। यस समयमा, एक गोलाकार झटका तरंग बन्द बबलको केन्द्रबाट बाहिर फैलिन्छ। यस बिन्दुमा, दबाव हजारौं वायुमण्डल हो। यदि अल्ट्रासोनिक फ्रिक्वेन्सी 20KHz छ भने, यो cavitation प्रति सेकेन्ड 20,000 पटक हुनेछ। तसर्थ, यो बुझ्न गाह्रो छैन कि अल्ट्रासोनिक तरंगहरूमा बलियो सफाई क्षमता छ।