УЗИ тазалоонун тазалоо принциби, негизинен, тазалоочу суюктукта “кавитацияны” пайда кылган тазалоочу суюктукка ультра үн титирөөнүн киргизилишине байланыштуу. «Кавитациядан» пайда болгон күчтүү механикалык күч механикалык аралашмаларды жана даярдалган бөлүккө жабышкан ар кандай булгоочу заттарды тазалайт. Ультрадыбысты тазалоо бир гана кавитациялык эффектке ээ болбостон, андан да татаал физикалык жана химиялык таасирлер менен коштолот.
"Кавитация" деп аталган нерсе суюктукта ультраүн толкундарынын кезектешкен үн басымы тараган сейрек жана тыгыз абалды билдирет. Тыгыз абалда суюктук оң басымга (бир аз атмосфералык басымга жакын) дуушар болот, ал эми сейрек абалда суюктук чыңалуу же терс басым астында болот. Жалпысынан алганда, суюктук белгилүү бир өлчөмдө газды камтыйт. Сейрек абалда көбүк чоңоюп, көбүрөөк сиңет Суюктукта чириген газ; кайра кысылганда көбүкчөлөр кичирейе беришет. Бул процесстин жүрүшүндө суюк бөлүкчөлөрдүн кыймылы бара-бара азайып бара жаткан көбүктүн радиусуна тескери пропорционалдуу. Демек, радиус нөлгө жакындаганда, массалык кыймылдын ылдамдыгы теориялык жактан чексиздикке жакындашы керек. Бул тез кыймыл көбүк жабылганда күтүлбөгөн жерден токтоп калса, кичинекей көлөмдө топтолгон кинетикалык энергия бөлүнүп чыгат, жарым-жартылай жылуулук энергиясына, жарым-жартылай кысуу энергиясына айланат. Бул учурда жабык көбүктүн борборунан сфералык сокку толкуну сыртка тарайт. Бул учурда басым миңдеген атмосфераны түзөт. УЗИ жыштыгы 20KHz болсо, бул кавитация секундасына 20 000 жолу пайда болот. Ошондуктан, ультраүн толкундары күчтүү тазалоо жөндөмүнө ээ экенин түшүнүү кыйын эмес.
