ულტრაბგერითი წმენდის დასუფთავების პრინციპი ძირითადად განპირობებულია საწმენდ სითხეში ულტრაბგერითი ვიბრაციის დანერგვით, რაც იწვევს საწმენდ სითხეში „კავიტაციას“. "კავიტაციის" შედეგად წარმოქმნილი ძლიერი მექანიკური ძალა აშორებს მექანიკურ მინარევებს და სხვადასხვა დამაბინძურებლებს, რომლებიც მიმაგრებულია სამუშაო ნაწილზე. ულტრაბგერითი გაწმენდა არა მხოლოდ კავიტაციის ეფექტია, არამედ თან ახლავს უფრო რთული ფიზიკური და ქიმიური ეფექტები.
ეგრეთ წოდებული "კავიტაცია" ეხება იშვიათ და მკვრივ მდგომარეობას, როდესაც ულტრაბგერითი ტალღების ალტერნატიული ხმის წნევა ვრცელდება სითხეში. მკვრივ მდგომარეობაში სითხე ექვემდებარება დადებით წნევას (დაახლოებით რამდენიმე ატმოსფერული წნევა), ხოლო მწირ მდგომარეობაში სითხე იმყოფება დაძაბულობის ან უარყოფითი წნევის ქვეშ. ზოგადად, სითხე შეიცავს გარკვეული რაოდენობის გაზს. იშვიათ მდგომარეობაში ბუშტი იზრდება და უფრო მეტს შთანთქავს სითხეში დაშლილ გაზს; ხელახალი შეკუმშვისას ბუშტები აგრძელებენ კლებას. ამ პროცესის დროს თხევადი ნაწილაკების მოძრაობა უკუპროპორციულია ბუშტების რადიუსის თანდათან კლებასთან. ამიტომ, როდესაც რადიუსი უახლოვდება ნულს, მასის მოძრაობის სიჩქარე თეორიულად უნდა მიუახლოვდეს უსასრულობას. თუ ეს სწრაფი მოძრაობა უეცრად შეჩერდება ბუშტის დახურვისას, მცირე მოცულობაში კონცენტრირებული კინეტიკური ენერგია გამოიყოფა, ნაწილობრივ გადაიქცევა სითბოს ენერგიად, ნაწილობრივ გადაიქცევა შეკუმშვის ენერგიად. ამ დროს დახურული ბუშტის ცენტრიდან გარედან ვრცელდება სფერული დარტყმითი ტალღა. ამ ეტაპზე წნევა ათასობით ატმოსფეროა. თუ ულტრაბგერითი სიხშირე არის 20KHz, ეს კავიტაცია მოხდება 20000 ჯერ წამში. ამიტომ, ძნელი არ არის იმის გაგება, რომ ულტრაბგერითი ტალღები აქვს ძლიერი გამწმენდი უნარი.
