Mae egwyddor glanhau glanhau ultrasonic yn bennaf oherwydd cyflwyno dirgryniad ultrasonic yn yr hylif glanhau, sy'n achosi "cavitation" yn yr hylif glanhau. Mae'r grym mecanyddol pwerus a gynhyrchir gan “cavitation” yn pilio amhureddau mecanyddol a gwahanol halogion sydd ynghlwm wrth y darn gwaith. Mae glanhau ultrasonic nid yn unig yn cael effaith cavitation, ond hefyd yn cael effeithiau ffisegol a chemegol mwy cymhleth.
Mae'r “cavitation” fel y'i gelwir yn cyfeirio at y cyflwr tenau a thrwchus pan fydd pwysedd sain bob yn ail tonnau ultrasonic yn lluosogi yn yr hylif. Yn y cyflwr trwchus, mae'r hylif yn destun pwysau positif (tua ychydig o bwysau atmosfferig), tra yn y cyflwr gwasgaredig, mae'r hylif o dan densiwn neu bwysau negyddol. Yn gyffredinol, mae'r hylif yn cynnwys rhywfaint o nwy. Yn y cyflwr gwasgaredig, mae'r swigen yn tyfu ac yn amsugno mwy Mae'r nwy yn dadelfennu yn yr hylif; wrth eu hail-gywasgu, mae'r swigod yn parhau i grebachu. Yn ystod y broses hon, mae symudiad y gronynnau hylif mewn cyfrannedd gwrthdro â'r radiws swigen sy'n lleihau'n raddol. Felly, pan fydd y radiws yn agosáu at sero, dylai cyflymder symudiad màs fynd at anfeidredd yn ddamcaniaethol. Os bydd y cynnig cyflym hwn yn stopio'n sydyn pan fydd y swigen ar gau, bydd yr egni cinetig sydd wedi'i grynhoi yn y gyfrol fach yn cael ei ryddhau, yn rhannol yn dod yn ynni gwres, yn dod yn egni cywasgu yn rhannol. Ar yr adeg hon, mae ton sioc sfferig yn ymledu allan o ganol y swigen gaeedig. Ar y pwynt hwn, mae'r pwysau yn filoedd o atmosfferau. Os yw'r amledd ultrasonic yn 20KHz, bydd y cavitation hwn yn digwydd 20,000 gwaith yr eiliad. Felly, nid yw'n anodd deall bod gan donnau ultrasonic allu glanhau cryf.
