El principi de neteja de la neteja per ultrasons es deu principalment a la introducció de vibracions ultrasòniques en el líquid de neteja, que provoca "cavitació" al líquid de neteja. La potent força mecànica generada per la "cavitació" elimina les impureses mecàniques i diversos contaminants units a la peça de treball. La neteja per ultrasons no només té efectes de cavitació, sinó que també s'acompanya d'efectes físics i químics més complicats.
L'anomenada "cavitació" es refereix a l'estat escàs i dens quan la pressió sonora alterna de les ones ultrasòniques es propaga al líquid. En estat dens, el líquid està sotmès a pressió positiva (aproximadament unes poques pressions atmosfèriques), mentre que en estat escàs, el líquid està sota tensió o pressió negativa. En general, el líquid conté una certa quantitat de gas. En estat escàs, la bombolla creix i absorbeix més El gas descompost en el líquid; quan es recomprimeix, les bombolles continuen reduint-se. Durant aquest procés, el moviment de les partícules líquides és inversament proporcional al radi de la bombolla que disminueix gradualment. Per tant, quan el radi s'acosta a zero, la velocitat del moviment de la massa s'hauria d'apropar teòricament a l'infinit. Si aquest moviment ràpid s'atura de sobte quan es tanca la bombolla, s'alliberarà l'energia cinètica concentrada en el petit volum, en part es converteix en energia tèrmica, en part es converteix en energia de compressió. En aquest moment, una ona de xoc esfèrica es propaga cap a l'exterior des del centre de la bombolla tancada. En aquest punt, la pressió és de milers d'atmosferes. Si la freqüència ultrasònica és de 20 KHz, aquesta cavitació es produirà 20.000 vegades per segon. Per tant, no és difícil entendre que les ones ultrasòniques tenen una forta capacitat de neteja.
