Prinsip beberesih tina beberesih ultrasonic utamana alatan bubuka Geter ultrasonic dina cairan beberesih, nu ngabalukarkeun "cavitation" dina cairan beberesih. Gaya mékanis kuat dihasilkeun ku "cavitation" peels off najis mékanis jeung sagala rupa rereged napel workpiece nu. beberesih ultrasonik teu ngan boga pangaruh cavitation, tapi ogé dibarengan ku épék fisik jeung kimia leuwih pajeulit.

Anu disebut "cavitation" nujul kana kaayaan anu jarang sareng padet nalika tekanan sora bolak-balik gelombang ultrasonik nyebarkeun dina cairan. Dina kaayaan padet, cairanana ngalaman tekanan positip (kira-kira sababaraha tekanan atmosfir), sedengkeun dina kaayaan jarang, cairanana aya dina tegangan atanapi tekanan négatip. Sacara umum, cairanana ngandung sajumlah gas. Dina kaayaan sparse, gelembung tumuwuh sarta absorbs leuwih Gas decomposed dina cairan; lamun recompressed, gelembung terus ngaleutikan. Salila prosés ieu, gerakan partikel cair berbanding terbalik sareng radius gelembung anu laun-laun turun. Ku alatan éta, nalika radius ngadeukeutan enol, laju gerakan massa téoritis kudu ngadeukeutan ka takterhingga. Lamun gerak gancang ieu ujug-ujug eureun nalika gelembung ditutup, énergi kinétik kentel dina volume leutik bakal dileupaskeun, sabagean jadi énergi panas, sabagean jadi énergi komprési. Dina waktu ieu, gelombang shock buleud propagates kaluar ti puseur gelembung katutup. Dina titik ieu, tekanan téh rébuan atmosfir. Lamun frékuénsi ultrasonic nyaéta 20KHz, cavitation ieu bakal lumangsung 20.000 kali per detik. Ku alatan éta, teu hese ngarti yén gelombang ultrasonik gaduh kamampuan beberesih anu kuat.