Het reinigingsprincipe van ultrasoon reinigen is voornamelijk te danken aan de introductie van ultrasone trillingen in de reinigingsvloeistof, waardoor “cavitatie” in de reinigingsvloeistof ontstaat. De krachtige mechanische kracht die door “cavitatie” wordt gegenereerd, verwijdert mechanische onzuiverheden en verschillende verontreinigingen die aan het werkstuk zijn gehecht. Ultrasoon reinigen heeft niet alleen een cavitatie-effect, maar gaat ook gepaard met ingewikkelder fysische en chemische effecten.

De zogenaamde "cavitatie" verwijst naar de schaarse en dichte toestand waarin de wisselende geluidsdruk van ultrasone golven zich in de vloeistof voortplant. In de dichte toestand wordt de vloeistof onderworpen aan positieve druk (ongeveer een paar atmosferische druk), terwijl in de schaarse toestand de vloeistof onder spanning of onderdruk staat. Over het algemeen bevat de vloeistof een bepaalde hoeveelheid gas. In de schaarse toestand groeit de bel en absorbeert meer gas dat in de vloeistof wordt ontleed; wanneer ze opnieuw worden samengedrukt, blijven de bellen krimpen. Tijdens dit proces is de beweging van de vloeistofdeeltjes omgekeerd evenredig met de geleidelijk afnemende straal van de bel. Daarom zou, wanneer de straal nul nadert, de snelheid van de massabeweging theoretisch oneindig moeten naderen. Als deze snelle beweging plotseling stopt wanneer de bel wordt gesloten, zal de kinetische energie, geconcentreerd in het kleine volume, vrijkomen, deels warmte-energie worden, deels compressie-energie. Op dit moment plant een bolvormige schokgolf zich vanuit het midden van de gesloten bel naar buiten voort. Op dit punt bedraagt ​​de druk duizenden atmosfeer. Als de ultrasone frequentie 20 KHz is, zal deze cavitatie 20.000 keer per seconde optreden. Daarom is het niet moeilijk te begrijpen dat ultrasone golven een sterk reinigend vermogen hebben.