La purigada principo de ultrasona purigado estas ĉefe pro la enkonduko de ultrasona vibro en la purigan likvaĵon, kiu kaŭzas "cavitacion" en la purigan likvaĵon. La potenca mekanika forto generita de "kavitacio" senŝeligas mekanikajn malpuraĵojn kaj diversajn malpuraĵojn ligitajn al la laborpeco. Ultrasona purigado ne nur havas cavitacion, sed ankaŭ akompanata de pli komplikaj fizikaj kaj kemiaj efikoj.
La tielnomita "kavitacio" rilatas al la maldensa kaj densa stato kiam la alterna sonpremo de ultrasonaj ondoj disvastiĝas en la likvaĵo. En la densa stato, la likvaĵo estas submetita al pozitiva premo (ĉirkaŭ kelkaj atmosfera premo), dum en la maldensa stato, la likvaĵo estas sub streĉiteco aŭ negativa premo. Ĝenerale, la likvaĵo enhavas certan kvanton da gaso. En la maldensa stato, la veziko kreskas kaj sorbas pli La gaso malkomponita en la likvo; kiam rekunpremite, la vezikoj daŭre ŝrumpas. Dum ĉi tiu procezo, la movado de la likvaj partikloj estas inverse proporcia al la iom post iom malkreskanta bobelradiuso. Tial, kiam la radiuso alproksimiĝas al nulo, la rapideco de amasmovado devus teorie alproksimiĝi al senfineco. Se ĉi tiu rapida movo subite ĉesas kiam la veziko estas fermita, la kineta energio koncentrita en la eta volumeno estos liberigita, parte fariĝas varmenergio, parte fariĝas kunprema energio. Ĉe tiu tempo, sfera ŝokondo disvastiĝas eksteren de la centro de la fermita veziko. Je ĉi tiu punkto, la premo estas miloj da atmosferoj. Se la ultrasona frekvenco estas 20KHz, ĉi tiu kavitacio okazos 20,000 fojojn je sekundo. Tial ne malfacilas kompreni, ke ultrasonaj ondoj havas fortan purigan kapablon.
